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HD Series

HD-B / HD-W 系列 FFKM 具有 250 ℃ 等級耐熱性與優越的耐化學性，可應用於石油化學工業、半導體晶圓製造業、製藥工業，對強酸強鹼、有機溶劑化學品及高溫蒸汽，均能表現出極優越穩定的特性。本產品之包裝與清潔均於潔淨室內完成。

  • 最高連使用溫度續 250 ℃

  • 長時程、穩定並優異的高溫密封性能

  • 優異的產品物理特性

  • 極佳的化學耐受性

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KN Series

KN-B / KN-W 系列 FFKM 具備具備 280℃等級的耐熱性與優越的耐化學性，對傳統耐熱氟橡膠無法使 用的高溫飽和蒸氣及高溫胺類流體具有耐受性，可長期於高溫下使用，降低密封圈更換頻率，有效 節省經費及減少廢棄物。本產品之包裝與清潔均於潔淨室內完成。

  • 最高連續使用溫度 280℃ 

  • 長時程、穩定並優異的高溫密封性能

  • 優異的物理特性

  • 優異的電漿耐受性

  • 極佳的化學耐受性

  • 適合運用於高溫乾式製程

  • 優異的壓縮變形率

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HM-W

本系列產品在製造時僅添加極少量或完全不添加填充物與交聯劑，確保其在絕大多數電漿環境下皆能展現最佳的潔淨度，進而大幅提升製程良率。本產品適用於乾式蝕刻（Dry Etch）、高密度電漿化學氣相沉積（HDPCVD）、電漿輔助化學氣相沉積（PECVD）、物理氣相沉積（PVD）及金屬化學氣相沉積（Metal CVD）等製程，建議最高連續使用溫度可達 300°C。

  • 它具有極強的耐化學腐蝕性，優於其他橡膠材料。

  • 建議最大壓力為 5 MPa。但是，該值會因各種條件而異。此外，使用支撐環可以提高耐壓性能。

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TM Series

本系列產品在高溫環境下展現出卓越的物理特性，在正常操作條件下，其連續使用溫度可超過 325°C，並具備更優異的抗壓縮變形能力。本產品適用於擴散製程（Diffusion）、離子佈植退火製程（Implant Anneal）、快速熱製程（RTP）以及各類管件與閥件等應用，最高連續使用溫度可達 325°C。

  • 優良的耐電漿性

  • 極低重量變化率、高潔淨度低產塵

  • ​最高工作溫度範圍：建議溫度範圍為0至260°C

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TM-A Series

是一款無填充的高氟化彈性體，本系列產品在製程中僅添加極少量或完全不使用填充物與交聯劑，確保在絕大多數電漿環境下皆能展現最佳的純淨度與卓越的潔淨特性，進而顯著提升製程良率。本產品特別適用於乾式蝕刻 (Dry Etch)、高密度電漿化學氣相沉積(HDPCVD)、電漿輔助化學氣相沉積 (PECVD)、物理氣相沉積 (PVD) 及金屬化學氣相沉積 (Metal CVD) 等製程，建議最高連續使用溫度可達 325°C。

  • 優良的耐電漿性

  • 極低重量變化率

  • 高潔淨度低產塵

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